セッション詳細
[15a-M_135-1~9]1.6 超音波
2026年3月15日(日) 9:30 〜 12:00
M_135 (本館)
座長:高柳 真司(同志社大)
[15a-M_135-1]LiNbO3ホモエピタキシャル薄膜の弾性表面波伝搬特性
〇(B)兒玉 裕己1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、稲瀬 陽介2、白井 孝典2 (1.山梨大、2.(株)シンクロン)
[15a-M_135-6]多能性®中間膜を用いたエピタキシャルAlN膜の形成とBAW特性評価
〇(B)権守 秀昭1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、關 雅志2、木島 健2 (1.山梨大、2.ガイアニクス)
[15a-M_135-7]分極反転Si0.1Sc0.3AlN/Sc0.3AlN膜を用いた5 GHz動作BAW共振子の特性評価
〇(B)土方 雅斗1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、Anggraini Sri Ayu2 (1.山梨大、2.産総研)
[15a-M_135-9]音響反射多層膜用Al2O3およびSiO2薄膜の評価
〇大橋 雄二1、櫛引 淳一2、戸津 健太郎2、横尾 和希3、神 翔太3、伊東 孝洋3 (1.秋田県立大、2.東北大、3.ジオマテック)
