[15a-PA5-1~16] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[15a-PA5-1] レーザー補助FLAによる非晶質Si膜の爆発的結晶化の起点制御

〇(M1)島袋 颯馬¹、前田 健作¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：

フラッシュランプアニール、薄膜結晶Si

ガラス基板上にCat-CVD法で形成したa-Si膜におけるFLAによる爆発的結晶化の起点を制御することを目的として、レーザー補助FLA装置を開発した。構築した装置は、チャンバー側面の窓からレーザー光を入射し、チャンバー内部に配置したミラーを介して基板表面に照射する構造である。ディレイジェネレータを用いてFLAとレーザー光照射のタイミングの精密制御を実現した。