講演情報
[15a-PA5-16]有限要素法による薄膜抵抗器の絶縁破壊特性評価Ⅱ
〇高橋 祐貴1、荒川 純也2、伊澤 敬汰2、金本 俊幾1、渡邊 良祐1 (1.弘前大院理工、2.ニッコーム)
キーワード：
NiCr、薄膜抵抗器、有限要素法
本研究では、産業用抵抗器へのパルス電力印加時の絶縁破壊特性評価を行っている。本研究で対象とする高耐電圧薄膜抵抗器は、交流電圧を電極-フランジ(放熱板)間に印加して絶縁耐圧検査を行うが、稀に絶縁不良による素子の破壊が生じる。電極-フランジ間で放電が発生して絶縁が破壊され、放電痕が電極端から絶縁基板端まで伸長する。本研究では有限要素法(FEM)での電界解析により、薄膜抵抗器の絶縁破壊原因を評価した。