講演情報
[15a-PA5-4]Siヘテロ接合太陽電池へのCat-CVD法による窒化シリコン膜堆積
〇GUO LIN1、前田 健作1、大平 圭介1 (1.北陸先端大)
キーワード：
Cat-CVD、シリコンヘテロ接合太陽電池
Cat-CVD法によりSiNx膜をSHJ太陽電池表面に堆積し，膜堆積による発電性能への影響を調査した。成膜前後でJ–V特性およびEQEスペクトルを比較したところ，出力特性に顕著な劣化は認められなかった。この結果より，Cat-CVDでのSHJ太陽電池へのSiNx膜の堆積が，性能を維持したまま実施可能であることを確認した。