[15a-PB2-1~16] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[15a-PB2-16] SnO₂薄膜の還元アニールにおけるキャッピング層の効果

〇(B)川崎 汐音¹、辛 佳和¹、相川 慎也¹ (1.工学院大工)

キーワード：

酸化物