講演情報
[15a-S4_201-2]光リソグラフィにおける時空間スペックルの物理的描像と数値モデリング
〇白井 智宏1 (1.産総研)
キーワード：
統計光学、数値シミュレーション、光リソグラフィ
光リソグラフィ装置ではエキシマレーザーが現在も広く用いられるが，その時間的・空間的コヒーレンスに起因する時空間スペックルが微細パターンの正確な描画の妨げとなる．本研究では，時空間スペックルの挙動を従来とは異なる理論的枠組みで再定式化して物理的描像を明確化し，さらに複雑な光学系に対してもスペックルの影響を直接評価可能な数値モデリングの手法を提案する．