講演情報
[15a-W2_402-5]高移動度をもつGeH/Ge(111)構造における多キャリア輸送特性の評価
〇大友 浩華1、吉崎 高士2、大熊 光1、安武 裕輔1、深津 晋1、中村 芳明2、上野 和紀1 (1.東大院総合文化、2.阪大院基礎工)
キーワード：
層状物質、界面伝導、ゲルマナン
GeH/Ge(111)積層膜における高移動度キャリアの起源解明を目的として、膜厚および表面状態を制御した試料の電気輸送特性を調べた。多キャリア輸送解析の結果、高移動度正孔キャリアと低移動度キャリアの寄与を分離できた。RIE処理やXPS測定から、高移動度キャリアは界面起源で再現性が高いことを示す。