講演情報
[15a-W9_323-2]面内集積型SiNメンブレンデバイスの作製とデザイン最適化
〇野村 光希1、劉 芽久哉1、ザメンゴ マッシミリアーノ1、森川 淳子1 (1.科学大物質理工)
キーワード：
熱物性
ナノ薄膜の面内熱物性は、面外方向への熱の散逸を抑制し、試料支持基板の影響を抑えた高感度な計測を基本とする。本研究ではMEMS技術を用いて、SiN薄膜を支持基板としたセンサーデバイスの作製に取り組んだ。作製したデバイスについて温度波熱分析法によるナノ薄膜面内熱拡散率測定を行い、有限要素法によるデバイスの温度分布シミュレーションとあわせ、熱デバイスの構造設計がナノスケール面内熱拡散率測定に及ぼす影響を検討した。