[15a-WL1_301-1~11] 12.7 医用工学・バイオチップ

11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[15a-WL1_301-11] PGフリー構造による高感度フィルタフリー波長センサの開発

〇壬生 龍真¹、崔 容俊¹、井出 智也¹、木村 安行¹、野田 佳子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、野田 俊彦¹、髙橋 一浩¹、澤田 和明¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：

フィルタフリー波長センサ、光センサ、高感度

我々の研究グループが開発しているフィルタフリー波長センサのPG構造は、電極材料のPoly-Siによる光吸収で受光感度が低いという課題があった。本研究では新しいPG-free構造を提案し、PG電極を使わずn型ドーピング層とIFD電極への電圧印加でポテンシャルピークを生成する。これにより波長識別能力を維持しながら470nm光で約2.3倍、660nm光で約2.0倍の感度向上を実現した。オンサイトでの高精度計測への応用が期待できる。