[15a-WL1_301-1~11] 12.7 医用工学・バイオチップ

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[15a-WL1_301-7] 電界分布に着目した電極構造を有するCMOSにおいセンサの設計・製作

〇浅田 吉博¹、野田 佳子¹、赤井 大輔¹、飛沢 健¹、木村 安行¹、權 益賢¹、崔 容俊¹、高橋 一浩¹、澤田 和明¹、野田 俊彦¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：

においセンサ、電界分布

においは多様な化学情報を含み，従来型センサでは対応が困難である．本研究では，CMOSにおいセンサにおいて電極構造により形成される電界分布に着目し，感応膜上の広い領域に電界を形成可能なL字型電極構造を提案した．シミュレーションにより，電界が作用する有効領域が従来構造比で148%拡大することを確認し，提案構造を実装したCMOSにおいセンサチップを設計・製作した．