[15a-WL2_101-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

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[15a-WL2_101-1] 相転移酸化物による集積温度センサシートの原理実証

〇(M2C)萱野 幸佑¹、高 相圭²、濱砂 智¹、孫 世元¹、宮迫 毅明²、細倉 匡²、矢嶋 赳彬¹ (1.九州大学、2.株式会社村田製作所)

キーワード：

酸化物相転移材料、PTCサーミスタ、BaTiO3（チタン酸バリウム）

酸化物相転移材料の抵抗値の高い温度感受性を活かし，高ノイズ耐性・高速・低消費エネルギーを同時に実現する集積温度分布センサシートを提案する。相転移に伴う抵抗変化を閾値応答として用いることで，配線寄生やノイズの影響を受けにくい大規模集積が可能であることを示す。BaTiO₃系PTCサーミスタを用いた1024センサのフレキシブルシートを，読出し回路チップと組み合わせて試作し，温度分布検出を実証した。