講演情報
[15a-WL2_101-4]ナノギャップ電極による酸化物半導体WO3ナノ粒子の電気特性評価とガスセンサ応用
〇(M2)藤岡 諒1、村山 さなえ2、山原 弘靖1、小本 祐貴2、Ramaraj Sankar Ganesh1、谷口 正輝2、田畑 仁1 (1.東大院工、2.阪大産研)
キーワード：
ガスセンサ、ナノギャップ、酸化物半導体ナノ粒子
ヘルスケア向け高感度ガスセンサの実現を目指し、ナノギャップ電極とWO3ナノ粒子を組み合わせたデバイスを開発・評価した。30〜100nmの異なる電極間隙でアセトン応答を交流インピーダンス測定した結果、粒子内部の抵抗成分が濃度依存的に変化することを確認。特に最小の30nmギャップで最高感度が得られた。これは計測粒子数の減少により、微小な変化を感度良く抽出できたためと考えられる。