講演情報
[15p-70A_101-11]汎用機械学習力場を用いたALD precursorの吸着自由エネルギー計算に基づく蒸気圧予測モデルの検討
〇浅野 裕介1 (1.Matlantis株式会社)
キーワード：
ALD前駆体、蒸気圧パラメータ予測、汎用機械学習力場
ALD precursorの蒸気圧予測に向け、汎用機械学習力場(PFP)を用いた吸着自由エネルギー計算を行った。様々な表面に対する吸着データを平面近似し、得られた熱力学係数とAntoineパラメータ（特に蒸発潜熱項B）との間に強い相関を見出した。本手法を用いた回帰モデルはCo precursor等の実験値を再現した。吸着挙動からバルク物性を予測する新たなスクリーニング手法として有用である。