[15p-70A_101-1~13] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（３）

14:30 〜 15:00

[15p-70A_101-4] 高純度薄膜の原子層堆積用ガリウムプリカーサーの開発

〇水谷 文一¹ (1.高純度化学研)

キーワード：

原子層堆積、ガリウム前駆体