[15p-M_124-1~16] 17.3 層状物質

14:30 〜 14:45

[15p-M_124-3] PVD-WS₂膜の窒素中水素混合ガスプラズマによるp型化窒素ドーピング

〇寺岡 楓¹、伊東 壮真¹、Jang Jaehyo¹、松永 尚樹¹、野澤 俊輔¹、布施 太翔¹、星井 拓也¹、角嶋 邦之¹、若林 整² (1.東京科学大、2.東京科学大学総合研究院)

キーワード：

二硫化タングステン、遷移金属ダイカルコゲナイド、ドーピング