[15p-PA3-1~25] 3.7 光計測技術・機器

[15p-PA3-11] レーザー斜入射計測を用いた微小半導体チップの破断検査手法の実証

〇(B)北出 一護¹、寺内 玲碧¹、三上 勝大¹、池田 研一²、中南 友佑²、大竹 政則² (1.近大生物理工、2.(株)オプト・システム)

キーワード：

レーザードップラー振動計、主成分分析、斜入射計測