講演情報
[15p-PA3-4]広帯域光源を用いた透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡(2)
江本 龍一1、〇陳 軍1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大・工)
キーワード：
干渉計測、広帯域光源
インコヒーレントの広帯域光源を用いた透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡を開発した。システムでは、物体光と参照光がほぼ同じ光路を通過するため、振動や空気揺らぎなどの影響をほとんど受けず、高安定、高精度の位相計測が可能となる。このシステムを用いれば、白色光によるフルカラー顕微観察が可能であると共に、レーザの干渉性に起因するノイズを大きく低減し、高精度の測定が可能である。