講演情報
[15p-PB2-23]岐阜高専における実践的な微細加工による半導体教育の構築(II)
〇羽渕 仁恵1、福永 哲也1、飯田 民夫1、白木 英二1、笠島 愛莉1 (1.岐阜高専)
キーワード：
半導体教育、マスクレスフォトリソグラフィー、回折光学素子
岐阜高専ではCOMPASS5.0（半導体）事業のもと、複数企業と連携した実践的半導体教育を推進している。マスクレスフォトリソグラフィ（MLL）を用いた微細加工により、学生が半導体前工程を体験できる環境を整備した。回折光学素子や2次元ホログラム、pn接合ダイオードやMOSFETの作製、理科教材開発などの実践例を報告する。