講演情報
[15p-PB2-31]液体金属の超微細配線に向けた高精細ディスペンシングシステムの開発
〇木村 文哉1、長竹 恭平1、遠藤 柊弥1、久世 大輔1、高野 珠実1、太田 裕貴1 (1.横国大院工)
キーワード：
液体金属、ストレッチャブルデバイス、微細配線
近年，ストレッチャブルデバイスが研究されており，配線材料として用いられる液体金属のパターニング手法が検討されている．本研究では，ディスペンシングプロセスによる液体金属の超微細配線を目的として高精細ディスペンシングシステムを構築した．その結果，内径Φ2 µmノズルを用いて平均1.56 µmの安定した液体金属配線を実現した．さらに，針状配線や三次元的に交差する立体配線を実現した．