[15p-PB2-1~69] 1 応用物理学一般（ポスター）

[15p-PB2-69] DC負電圧を基板印加してスパッタ成膜したc軸平行配向ZnO薄膜の結晶性と圧電性

〇高柳 真司¹、吉田 侑矢¹、坂本 慶太¹、柳谷 隆彦² (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：

圧電薄膜、スパッタ成膜、厚みすべりモード