[15p-W9_324-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:45 〜 16:00

[15p-W9_324-9] (010)面β-Ga₂O₃上におけるTMAHを用いた結晶異方性ウェットエッチング

〇大島 孝仁¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム、TMAH、エッチング