講演情報
[15p-W9_326-1]２段レーザー照射で生成したEUV光源用スズプラズマの挙動観測
〇富田 健太郎1、篠田 樹1、白井 康司1 (1.北大院工)
キーワード：
EUV光源、電子温度、電子密度
近年、EUV光源用プラズマの生成方法としては、複数のレーザーを照射する試みが多数ある。本発表では、2本のYAGレーザーを同軸で照射した場合の、プラズマの挙動を、電子温度・電子密度の空間分布・時間変化や、EUV発光イメージング、イオンエネルギーアナライザによるイオンエネルギー計測などを通じて多角的に観測したので、その結果について報告する。