[15p-W9_326-1~15] 7.1 X線技術

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[15p-W9_326-7] EUV顕微鏡用高倍率対物ミラーの100 pm精度波面制御

〇(P)宇治 駿¹、S. Maidul Haque¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大工)

キーワード：

極紫外光、点回折干渉計、EUV顕微鏡

波長13.5 nmで回折限界結像を達成するEUV顕微鏡の実現を目的として、点回折干渉計（PDI）を用いた高倍率対物ミラーの波面計測および補正を行った。Schwarzschild光学系と付加拡大系からなる高倍率対物ミラーをPDIに組み込み、非点・コマ・球面収差に着目して調整を実施した結果、特にコマ収差において、組立時のミスアライメントや構造歪みに起因する5.8 nm rmsの波面誤差を、最終的に0.07 nm rmsまで低減し、100 pmオーダーの高精度波面制御を実証した。