[15p-W9_326-1~15] 7.1 X線技術

15:45 〜 16:15

[15p-W9_326-9] [第47回優秀論文賞受賞記念講演] テンダーX線タイコグラフィによるサブ10 nm分解能の達成を目指して

〇高橋 幸生^1,2、石黒 志^1,2、金子 房恵^1,3、阿部 真樹^1,2、高山 裕貴^1,2、吉田 純也¹、星野 大樹^1,2、高澤 駿太郎¹、上松 英司¹、佐々木 雄平¹、大川 成¹、高橋 慧智⁴、滝沢 寛之⁴、岸本 浩通³ (1.東北大SRIS、2.理研放射光センター、3.住友ゴム工業、4.東北大CSC)

キーワード：

放射光、X線タイコグラフィ

X線タイコグラフィは、コヒーレントX線回折強度パターンに位相回復計算を適用することで像を再構成するレンズレスX線顕微法であり、テンダーX線を用いることで軽元素試料に対する高感度・高分解能観察が可能である。NanoTerasuにより世界最高水準の20 nm未満の分解能を達成し、今後は10 nm以下の実現も視野に入っている。半導体デバイス解析などへの応用も期待される。