[16a-M_278-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

10:30 〜 10:45

[16a-M_278-7] ZrO₂極薄膜における相形成および分極挙動のサイズ効果

栗林 優太¹、拓馬 伊東¹、砂岡 裕基²、島 宏美²、横田 幸恵¹、江原 祥隆²、舟窪 浩³、〇内田 寛¹ (1.上智大、2.防衛大、3.科学大)

キーワード：

強誘電体薄膜、酸化ジルコニウム、蛍石型構造