[16a-PA5-1~11] 13.9 化合物太陽電池

[16a-PA5-10] NaF 蒸着と Zn, Sn, S 成分を含有する焼結体の RF スパッタによる前駆体を用いた Na₂ZnSnS₄ 薄膜における作製プロセスの検討

〇神保 和夫¹、島宗 洋介¹ (1.長岡高専)

キーワード：

薄膜、太陽電池材料、ケステライト構造

Na₂ZnSnS₄ に関する作製プロセスの検討と化合物の評価を行った。ノンアルカリガラス上に Zn, Sn, S 成分を含有する焼結体で、RF スパッタにより製膜を行った。その後、E-B 蒸着を用いて NaF を蒸着し、前駆体とした。次に硫化処理を加えて化合物を形成した。EDS から、化学量論的組成比率よりも Na-poor, S-poor の組成比を確認した。硫化温度 748 K の試料では、分光光度計の透過・反射率により 3. 4–3.7 eV の光吸収端を確認した。また、Na₂ZnSnS₄ とされる X 線回折ピークを得た。