講演情報
[16a-W9_325-5]縞状加熱を用いた薄膜面内方向熱拡散率計測手法の開発(3) :各種基板における測定感度解析
〇山下 雄一郎1、有馬 寛人1、八木 貴志1 (1.産総研)
キーワード：
薄膜面内方向熱伝導率、時間領域サーモリフレクタンス測定、熱シミュレーション
時間領域サーモリフレクタンス法と縞状加熱を組み合わせた基板上に作成された薄膜の面内方向熱伝導率測定技術を開発している。これまでに合成石英ガラス基板上のMo薄膜について面直・面内方向の熱伝導率に違いがあることを明らかにした。本報では、各種基板に対しての測定感度解析を通して、測定手法の適用範囲や受け入れ可能な測定試料について議論する。