[16a-W9_326-1~10] 3.12 半導体光デバイス

9:45 〜 10:00奨励賞エントリー

[16a-W9_326-4] 面発光型量子カスケードレーザにおける二次元フォトニック結晶の周期性および充填率評価に向けたAIによるSEM画像解析

〇宮川 徹也¹、塚田 知樹¹、橋本 玲¹、Afshan Begum²、迫田 和彰²、斎藤 真司³ (1.(株)東芝、2.NIMS、3.湘工大)

キーワード：

量子カスケードレーザ、フォトニック結晶、SEM

フォトニック結晶を用いた面発光型量子カスケードレーザにおいて、AIによるフォトニック結晶断面のSEM画像解析でInGaAs領域を抽出し、形状・寸法の設計値からの変動を定量的に評価した。この推論プロセスにより、フォトニック結晶の周期性確認を目的とした大量のSEM観察結果を高速処理できるだけでなく、設計通りの形状・寸法でフォトニック結晶を作製するためのフィードバックサイクルを短縮可能となった。