[16a-W9_326-1~10] 3.12 半導体光デバイス

10:30 〜 10:45奨励賞エントリー

[16a-W9_326-6] 塩素系中性粒子ビームによるAlGaInP赤色マイクロLEDに向けたAlGaInP側壁加工特性

〇(M1)栗林 高大¹、大堀 大介¹、王 学論²、遠藤 和彦^1,2、寒川 誠二^3,1 (1.東北大流体研、2.産総研、3.NYCU)

キーワード：

中性粒子ビーム、AlGaInP加工