[16a-W9_327-1~6] 16.2 エナジーハーベスティング

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[16a-W9_327-3] Mg₂Si微小熱電発電デバイスのためのプロセス技術の開発

〇(B)奥田 耕太朗¹、粟田 舞衣¹、林 竜也¹、三浦 拓也¹、高山 開智¹、小塚 祐介^1,3、柏木 誠²、志村 考功¹、渡邉 孝信¹ (1.早稲田大学、2.早大ナノ機構、3.NIMS)

キーワード：

半導体、マグネシウム