講演情報
[16a-WL1_301-5]酸化物半導体In2O3を用いたバイオセンサにおける溶液中の陽イオンの影響
〇鮑 一冉1、廣瀬 大亮1、高村 禅1 (1.北陸先端科学技術大学院大学)
キーワード：
バイオセンサ、酸化物TFT
我々の研究室では、製造コストが低く、大規模生産にも適し水中でも安定な酸化物薄膜トランジスタを用いたバイオセンサの開発を行っている。前回、接する溶液中のK＋イオン濃度を増加させると、H＋イオンを増加させたときとは逆にドレイン電流が低下することを報告した。今回、NaCl溶液においても、イオン濃度の増加とともにIdは減少する傾向が見られた。またVthはNaCl濃度が大きくなるにつれ、約40mV/decay で正の方へシフトした。