[16a-WL2_301-1~9] 3.7 光計測技術・機器

9:30 〜 9:45

[16a-WL2_301-1] 位相シフト法に基づく透明膜表面形状計測技術の開発

〇森山 季¹、島野 健¹、田中 幸修¹、松本 俊一²、芹川 滋²、田中 麻紀² (1.(株)日立製作所、2.(株)日立ハイテク)

キーワード：

光干渉

光を用いた高速・高精度な表面形状計測手法として位相シフト法が知られている。しかし、表面が光学的に透明な膜で覆われた試料への適用は困難である。本研究では干渉光強度に加えて物体光強度を独立取得することで、膜厚と表面形状を解析する手法を提案する。