[16a-WL2_401-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

11:30 〜 11:45

[16a-WL2_401-8] アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形現象におけるスパイク状応答に関する研究

〇青野 祐美¹、宮本 良之² (1.鹿児島大院理工、2.産総研)

キーワード：

窒化炭素、光誘起変形、スパッタ法

スパッタ法で作製された水素を含まないアモルファス炭素（a-C）、アモルファス窒化炭素（a-CN_x）薄膜において、可視光を照射したとき形状が変化する光誘起変形が見られる。この光誘起変形は、可視光の照射を止めると元の状態に戻る可逆性の現象であるが、一部の試料において、照射停止直後に大きな変形が見られることがある。本研究では、光照射停止直後に見られる大きなスパイク状の光誘起変形挙動について調べた結果について報告する。