セッション詳細

[16a-WL2_401-1~8]6.2 カーボン系薄膜

2026年3月16日(月) 9:30 〜 11:45
WL2_401 (西講義棟2)

[16a-WL2_401-1]磁気援用プラズマCVD法による小径円筒内壁へのDLC膜の作製

〇(M1)佐向 亮1、赤坂 大樹1 (1.科学大)

[16a-WL2_401-2]高速フィルタードアーク蒸着装置で形成したDLC 膜の成膜時間依存性

〇佐野 春1、佐野 絃貴1、滝川 浩史1、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))

[16a-WL2_401-3]レーザー照射による水素化アモルファス炭素膜と金属の接合・転写

〇曾 慎之1、長谷 嘉琉1、赤坂 大樹1 (1.科学大)

[16a-WL2_401-4]FFT を用いたDLC成膜中の分光スペクトル解析による機械学習の効率化に関する検討

〇樫村 直樹1、中村 聡1、小松 隆1、大越 康晴2 (1.神奈川大工、2.電機大)

[16a-WL2_401-5][第59回講演奨励賞受賞記念講演] 窒素含有がDLC膜構造に与える影響と電極機能性の評価

〇萌出 大道1、赤坂 大樹2、青野 祐美3、針谷 達4、向山 義治1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電機大、2.科学大、3.鹿児島大、4.岐阜大)

[16a-WL2_401-6]スパッタ法で作製したアモルファス窒化炭素薄膜の膜質におよぼす成膜ガス圧力の影響と光学バンドギャプ傾斜膜の作製

〇神谷 和奏1、髙木 康平1、島 宏美2、森本 貴明3、青野 祐美1 (1.鹿大院理工、2.防衛大通信、3.防衛大機能材料)

[16a-WL2_401-7]圧力勾配式スパッタ法で作製したアモルファス窒化炭素薄膜の 光誘起変形量における成膜圧力と投入電力の影響

〇(M1)高木 康平1、神谷 和奏1、宮田 晟吾1、佐藤 庸平2、寺内 正己2、島 宏美3、小松 啓志4、青野 祐美1 (1.鹿児島大理工、2.東北大多元、3.防衛大、4.長岡技科大)

[16a-WL2_401-8]アモルファス窒化炭素薄膜の光誘起変形現象におけるスパイク状応答に関する研究

〇青野 祐美1、宮本 良之2 (1.鹿児島大院理工、2.産総研)