講演情報
[16p-M_107-9]MOVPE選択成長法によるSi(111)基板上InPナノワイヤ成長と評価
〇東 佑樹1、谷山 慶太1、内田 凌聖1、Wei Wen Wong2、本久 順一1、Hark Hoe Tan2、冨岡 克広1 (1.量子集積センター、2.オーストラリア国立大学)
キーワード:
MOVPE選択成長、WZ InP、Si基板
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