講演情報

[16p-M_107-9]MOVPE選択成長法によるSi(111)基板上InPナノワイヤ成長と評価

〇東 佑樹1、谷山 慶太1、内田 凌聖1、Wei Wen Wong2、本久 順一1、Hark Hoe Tan2、冨岡 克広1 (1.量子集積センター、2.オーストラリア国立大学)

キーワード:

MOVPE選択成長、WZ InP、Si基板