講演情報
[16p-M_135-7]分離構造を用いた小型熱拡散率センサの基礎検討
〇蓑輪 奈穂1、畑野 舞子1、赤坂 俊輔1 (1.ローム株式会社)
キーワード：
熱拡散率センサ、MEMS、小型
長寿命・高信頼性を有する熱伝導式ガスセンサの高精度化に向け、気体の熱拡散率測定を目的として、MEMSプロセスで作製したマイクロヒーターと温度計を分離配置した構造を提案し、原理検証を行った。温度計立上り時間（ΔT=0.5到達時間）を指標に評価した結果、一体構造に比べ約3倍遅い応答を示し、気体中の熱伝搬による温度計応答を確認した。以上より、本分離構造を用いて気体の熱拡散率測定が可能であることを示した。