講演情報

[16p-M_B104-8]エラストマー超薄膜上への極薄アイランド構造の作製

〇奥田 知華1、染谷 隆夫1、横田 知之1 (1.東大工)

キーワード:

極薄、ストレッチャブル、フレキシブル

皮膚などの生体表面に密着して動作するデバイスには、高い表面追従性、伸縮性、水蒸気透過性が求められる。本研究では、極薄エラストマー上に極薄アイランド構造を作製し、これらの特性を両立するアクティブ素子基板を実現した。適切な粘着性を持つ保護層を用いることで、極薄アイランド層の直接製膜とパターニングを可能にした。有機トランジスタ基板として用い、従来基板と同等の特性を得ることができた。