[16p-PA3-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16p-PA3-4] スパッタ法およびMBE法で成長させたScAlN の格子定数の機械学習解析

〇小林 篤¹、本田 善央²、前田 拓也³、Thai-Son Nguyen⁴、Huili Grace Xing⁴、Debdeep Jena⁴ (1.理科大先進工、2.名大未来研、3.東大院工、4.コーネル大)

キーワード：

ScAlN、GaN、機械学習