講演情報

[16p-PA4-5]有機金属気相成長法によるGe ナノワイヤ形成の成長温度依存性

大石 健翔1、澤野 憲太郎1、〇山田 道洋1 (1.都市大総研)

キーワード:

ゲルマニウム、有機金属気相成長、ナノワイヤ