講演情報

[16p-PA4-6]GOI上歪みSiGeチャネル構造の形成と特性評価

〇郭 遥1、澤野 憲太郎1 (1.東京都市大学)

キーワード:

歪みシリコンゲルマニウム、絶縁層上にゲルマニウム