[16p-PA5-1~4] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[16p-PA5-1] 水素関連ドナーにおける水素の役割

〇清井 明¹、西谷 侑将^2,3、松下 雄一郎^2,3、梅田 享英⁴ (1.三菱電機、2.東大、3.Quemix、4.筑波大)

キーワード：

点欠陥、水素

デバイスの製法として社会実装されているにも関わらずが、メカニズムは分かっていない水素関連ドナー（水素を含む複合欠陥で浅いドナーとなる）について、DFT計算により、水素と格子間シリコン対I4欠陥の相乗作用でドナーとして機能していることを明らかにした。