2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-PA7-12]
MoTe
2
のCVD成長とその電気特性評価
〇石黒 康志
1
、井坂 勇一郎
1
、若山 裕
2
、立木 隆
1
(1.防衛大、2.物材機構)
キーワード：
ニテルル化モリブデン、化学気相成長
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