講演情報
[16p-PA7-2]CVD法によるサファイア上へのMoS2/グラフェンヘテロ構造の直接成長
〇(M1)大原 佑希1、横平 華永1、小田 昂到、日比野 浩樹1 (1.関学大理工)
キーワード：
二硫化モリブデン、グラフェン、化学気相成長
遷移金属カルコゲナイド（TMDC）とグラフェンが van der Waals 力によって接合したヘテロ構造体が、光検出器やセンサーへの応用に期待されている。先行研究では、Hoangらが、有機金属化学気相成長（MOCVD）法を用い、サファイア上への大面積かつ高品質なMoS2/グラフェンヘテロ構造の直接成長を報告した。本研究では、MOCVDに並ぶ代表的なMoS2成長法である固体原料を用いたCVD法に着目し、サファイア上にMoS2/グラフェンヘテロ構造を直接作製したので報告する。