2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-PA7-3]
スペーサー導入によるCVD成長空間制御がMoS
2
結晶成長に及ぼす影響
〇(B)中村 空海
1
、河南 昌吾
1
、安藤 淳
2
、山本 伸一
1
(1.龍谷大先端理工、2.産総研)
キーワード:
二硫化モリブデン
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