講演情報
[16p-PA7-39]剥離MoS2薄片FETの電極接合に起因した水誘起動作不安定性
〇(M1)阪井 大雅1、野内 亮1 (1.大阪公立大院工)
キーワード:
遷移金属ダイカルコゲナイド、電極接合効果、環境効果
二次元半導体FETは環境中の水分子によりヒステリシスや動作不安定性を示す。本研究では二端子測定と四端子測定を比較した結果、大気中では窒素雰囲気下に比べて不安定性が増大することが確認された。さらに、四端子測定では二端子測定より不安定性が低く、電極接合近傍で生じる水誘起過程の寄与が示唆された。以上より、水誘起動作不安定性の理解には、チャネルと電極接合の寄与を分離した解析が不可欠である。
