2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-PA7-7]
Au(111)上での単層MoS
2
のCVD成長とUVテープ転写
〇済 直樹
1
、山本 快知
1
、深町 悟
1
、Pablo Solis-Fernandez
1
、田村 将悟
2
、碇 智徳
2
、吾郷 浩樹
1,3
(1.九大院総理工、2.宇部高専、3.九大半導体センター)
キーワード:
二硫化モリブデン、CVD法、Au(111)
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