講演情報
[16p-PB1-7]熱フィラメントCVD法により成膜した炭素膜の放射光によるその場観察
〇春山 雄一1、部家 彰2、住友 弘二2、伊藤 省吾2 (1.兵県大高度研、2.兵県大工)
キーワード：
熱CVD、光電子分光、炭素膜
我々のグループでは、DLC薄膜に対する原子状水素照射の影響を調べるため、原子状水素照射装置を兵庫県立大学ニュースバル放射光施設のビームラインのエンドステーションに設置し、大気曝露させることなしで光電子分光や吸収分光による評価を行ってきた。今回、原子状水素照射装置にメタンガスを導入することにより炭素膜を成膜し、放射光光電子分光や吸収分光によるその場観察ができるようになったので報告する。