講演情報
[16p-PB2-3]アトムプローブトモグラフィーによる電界蒸発を利用したTiO2試料内部構造のSTM観察
〇(M1)原田 駿1、黒川 修1、井上 耕治2 (1.京都大工、2.東北大金研)
キーワード：
走査トンネル顕微鏡、アトムプローブトモグラフィー
APT電界蒸発による平坦化とSTMを組み合わせた汎用的な内部構造観察手法の開発を行っている．本研究ではモデル試料としてTiO2単結晶を用い，FIB加工および電界蒸発による清浄面作製後，真空一貫搬送にてSTM室温観察を行った．その結果，チップイメージングによりオングストロームスケールの凹凸構造を確認した．今後は冷却観察による高分解能化と，APT再構成像との幾何学的対応を検討する．