講演情報

[16p-PB2-9]パルスSPMによる金表面仕事関数の原子分解能・絶対値計測

〇裾分 健司1、伊藤 祐吉1、勝部 大樹2、阿部 真之3、稲見 栄一1 (1.高知工大院工、2.JFCC、3.阪大院基礎工)

キーワード:

走査プローブ顕微鏡、仕事関数、Au(111)

光・電子ナノデバイスの性能向上には、動作特性に直結する仕事関数(WF)を高分解能で評価することが重要である。我々はこれまで、走査プローブ顕微鏡と電圧パルス制御を融合したパルスSPMを開発し、試料固有のWFを高分解能で計測可能な手法の確立を進めてきた。本研究では、WFに関する知見が豊富な金表面を対象として、本手法の測定原理を検証した。講演では、測定原理と取得データの詳細を示し、本計測原理の妥当性を議論する。