講演情報
[16p-PB4-20]高純度半導体型カーボンナノチューブの高配向制御
〇宮本 俊江1,2、田中 朋1,2、金折 恵2、福田 紀香2、殿内 規之1,2、渋谷 明信1,2、弓削 亮太1,2 (1.日本電気株式会社、2.産総研)
キーワード：
カーボンナノチューブ、ボロメータ
低抵抗化を目的として半導体型CNTが高配向するような成膜方法を検討し、半導体型CNT膜を使ったボロメータ素子の作製・評価を行ったところ、基板全面で同一方向に配向度の高いCNTネットワークが得られ、また、電気特性の基板内分布より、素子特性のばらつきが低減したことも確認できた。